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          UPC-2000L CO2發泡機

          CO2發泡機適用于半導體晶圓切割工序,它是通過滲入CO2,使水的電阻率降價(達到0.2M&Omega;.cm).從而消除水中的靜電,達到保護wafer的作用。

           

          產品優勢:

           

          1、精準的電阻率控制能力,可將電阻率控制在&plusmn;0.1M&Omega;.cm.

          2、增加了電阻率自動調節系統.

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